업무 분야 소개

1. 기술 도입의 필요성 

• 초미세 회로 패턴 보호 

• 생산 수율(Yield) 향상 

• 고해상도 측정·검사 신뢰성 

2. 주요 설계 목표 및 기준 

• 진동요구 기준 완벽 대응

• 동적 외란의 고속 감쇠 

• 공진(Resonance) 현상  차단 

3. 핵심 솔루션 제품군 

• Active Isolation Systems 

• Passive Isolation Systems 

• Custom Vibration Isolation Platforms 

4. 적용 분야 

• 반도체 전공정 

• OLED/디스플레이 

• 검사 및 계측 장비